新材料项目推介——92.一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料

专利申请号:  

CN201310234613.7

专利类型

  发明

IPC 分类号:   

G03F7/075 G03F7/004

应用领域:  

紫外光固化材料，应用在软压印工艺中

摘要:   

一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料，由低粘度、多官能度的液体预聚物、光引发剂、助剂与稀释剂组成。低粘度、多官能度液体预聚物由（含硅）巯基单体和（含硅）烯烃单体组成。（含硅）巯基单体和（含硅）烯烃单体均含有两个或两个以上的可固化交联官能团，可固化交联官能团为巯基或碳碳不饱和双键。液体预聚物占材料总质量的 5%-90%，稀释剂质量占材料总质量的 95%-10%，光引发剂质量为液体预聚物质量的 1%-5%，助剂质量为液体预聚物质量的0.01%-10%。本发明具有低粘度、快速固化、可在空气中完全固化、低收缩率的特点，基于旋转涂膜工艺，可作为紫外光固化纳米压印胶使用，实现大面积紫外光固化纳米压印，经济高效地生产出关键尺寸小于 100 纳米的图案。

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