服务咨询电话
服务咨询电话
发表于：2020-08-19
作者：科翔信息
浏览 271 次
专利申请号:
CN201310161118.8
专利类型
发明
IPC 分类号:
C23C14/26 C23C14/08 G02B1/10
应用领域:
膜材料，应用于大型望远镜等
摘要:
本发明提供一种向下热蒸发介质保护膜层的制备方法，其特征在于装载介质材料的蒸发源位于真空室内部上方、待镀主镜位于下方自上而下蒸发，采用常见的热蒸方式。保护膜材料为一氧化硅（SiO）， 装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升华向下运动，与氮气发生作用生成透明、牢固的 SiOxNy 保护膜层。本发明提供一种为大型主镜自上向下热蒸发介质保护膜层的制备方法，具有结构简单、成本低、应用广泛的优点。
（以上资讯来源于网络，如有侵权，请联系管理员删除。）
合肥科翔信息技术服务有限责任公司 版权所有 免责声明
地址：安徽省合肥市高新区天元路软件园1号楼210-212室
电话：180-1954-5300 QQ：2501649871
COPYRIGHT © 合肥科翔信息技术服务有限责任公司 ALL RIGHTS RESERVED. 皖ICP备2023003016号-1
技术支持：明图网络