新材料项目推介——86.石墨烯谐振器及其制作方法

专利申请号:  

CN201310668842.X

专利类型

  发明

IPC 分类号:   

H03H9/15 H03H3/02

应用领域:  

石墨烯材料，应用于极小压力传感和极小质量探测的微机电系统

摘要:   

本发明提供一种石墨烯谐振器及其制作方法，所述石墨烯谐振器包括衬底、声表面波发生器及石墨烯，所述声表面波发生器设置在衬底表面，用于产生声表面波，所述衬底在所述声表面波传播方向上设置有一凹槽，所述石墨烯设置在所述凹槽上方形成悬空的石墨烯， 悬空的石墨烯能够在声表面波的作用下机械振动。本发明的优点在于：采用声表面波作为激振源，石墨烯作为机械振动结构，使得本发明石墨烯谐振器具有更小的自身质量和更高的谐振频率及品质因子，且易于实现集成化，可用于极小压力传感和极小质量探测的微机电系统。

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