新材料项目推介——61、石墨托以及装有石墨托的晶体生长炉

专利申请号:  

CN201510418813.7

专利类型:

  发明

IPC 分类号:   

C30B29/36 C30B25/12 C30B23/02

应用领域:  

半导体材料，应用于电力转换、太阳能光伏、电动汽车、高效马达等领域

摘要:   

本发明涉及一种石墨托以及装有石墨托的晶体生长炉，所述石墨托为中部截面直径小于两端截面直径的回转体结构。所述晶体生长炉， 包括：位于反应室内的石墨托，以及设置在所述反应室周向的加热装置，其特征在于，所述石墨托为中部截面直径小于两端截面直径的回转体，所述石墨托上部设有台面，所述加热装置的位置配合所述石墨托以对其进行加热。本发明设置的石墨托中部设有径向尺寸较小的中部，在石墨托外周设置的加热装置向石墨托进行振荡加热后，石墨托上部的台面能够获得较为均匀的热量，热量在台面上分布较为均匀，从而保证衬底上的温度较为均匀，为晶体外延生长过程中提供了均匀的温度环境，保证衬底上晶体外延生长均有较好的均匀性。

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