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发表于:2019-11-26
作者:科翔信息
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专利申请号:
CN201210307876.1
专利类型:
发明
IPC 分类号:
C23C14/24 C23C14/10 G02B1/11
应用领域:
膜材料,应用于大型望远镜等
摘要:
本发明提供一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法, 其采用主镜面朝上、保护膜蒸发源位于镜面上方,自上向下的制备方式,保护膜材料为一氧化硅(SiO),装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中,加热升华向下蒸发,通过氧化作用生成透明、牢固的SiOx(1
备方法,能够极大地延长铝反射膜的使用寿命。
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