机器人与智能制造项目推介整理——30、一种掩模与基底六自由度对准装置

申请号:  

CN201410607056.3

申请日:

2014.10.30

应用领域:  

属于超精密测量技术领域，用于光刻机、镀膜仪等设备中掩模与基底对准装置的设计。

项目简介:  

本发明提供一种掩模与基底六自由度对准装置，含有掩模、掩模支架、弹性簧片、压簧片、压簧预紧、Y 手轮、拉簧预紧、基底、基底支架、X 手轮、基座、压紧螺钉；掩模支架为圆盘形状， 用于承载掩模；弹性簧片具有内环及三个凸起， 内环通过螺钉与掩模支架连接，三个凸起通过螺钉与基座凸面连接；压簧片一端与基座支撑面通过螺钉连接，另一端压在基底支架肩面上；压簧预紧与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；Y 手轮包括 Y1 手轮及 Y2 手轮，与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；拉簧预紧一端与基座支撑面通过螺钉连接，另一端与基底支架通过螺钉连接。 

技术优势:

本发明通过调节 Y1、Y2 及 X 手轮可完成基底的 X、Y 及θz 向位 置调整，通过调整三个压紧螺钉可完成掩模与基底的 Z 向间隙调整及θx、θy 向调平，相比 现有的组合式对准装置，其结构简单、紧凑，适用于空间狭小的环境，并可完成掩模与基底 的六自由度高精度对准。

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