人工智能项目推介——6、一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器

专利申请号:  

CN201410614452.9

专利类型:

发明

IPC 分类号:   

G02B26/00

应用领域:  

用于光学传感、光通讯、光信息读取以及激光技术等领域。

现有技术缺点:  

现有微机电法布里－珀罗滤波器为了获得较宽的自由光谱范围，其腔长往往较短，使其无法同时获得窄半峰全宽和宽自由光谱范围。

技术优势:

   滤波器的宽自由光谱范围是通过多级次光谱扫描拼接获得的，因此其驱动行程较短，直接采用浓硼掺杂硅层作为悬臂梁即可满足对驱动行程的要求，而无需在浓硼掺杂硅层上进行图形化刻蚀，减少了工艺步骤，降低了工艺难度。同时，还避免了由于刻蚀不对称导致的镜面扭曲等问题，具有稳定性高，可有效保证腔镜的平行度等优点。

摘要:   

本发明提供一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器，滤波器的上基板由双面腐蚀后截面呈“W”形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层构成，“W”形体硅上表面以透明薄膜作为支撑膜，其上的反射膜作为法布里－珀罗滤波器的前腔镜，“W”形体硅下表面不同区域的浓硼掺杂层可分别作为悬臂梁和上电极。滤波器的下基板由石英玻璃构成，其上表面与前腔镜和上电极对应的区域分别制作有后腔镜和下电极，下表面与后腔镜对应的区域刻有衍射光栅。该微机电滤波器可方便获得 200μm 以上的初始腔长，能在不同方向上实现单一波长的滤波，具有窄半峰全宽和宽自由光谱范围的优点，在光通讯，光信息读取，激光技术等领域中有广泛的应用前景。

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